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Laser Annealing
释义
Laser Annealing
雷射退火
在半导体（Semiconductor）离子植入法中，应用雷射以修补晶格中的损伤并激发使杂质渗入。方法是用一脉冲雷射融化晶片表面，深入至离子植入损伤之下，而其单晶结构又重新建立，而植入的离子则平均分布於此区内。
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更新时间：2025/10/14 6:59:52