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Laser Annealing
释义
Laser Annealing
雷射退火
在半导体(Semiconductor)离子植入法中,应用雷射以修补晶格中的损伤并激发使杂质渗入。方法是用一脉冲雷射融化晶片表面,深入至离子植入损伤之下,而其单晶结构又重新建立,而植入的离子则平均分布於此区内。
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I.C.
i/c
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更新时间:2025/7/23 8:20:17