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词汇 Epitaxial Growth
释义 Epitaxial Growth
晶膜生长
晶膜生长是一种使一个单晶体结构的半导体扩增生长的制造过程。在一个称为反应器的特制妒里面,放着透明而且表面磨光的硅晶片,加热到1OO0至I200。c,含硅的蒸气经过加热的本体附着在本体上,从而使晶膜生长。
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