词汇 | liquid phase epitaxial method |
释义 | liquid phase epitaxial method 液相外延法 与半导体异质外延工艺相似的制备铁氧体单晶薄膜的一种方法。将一定比例的铁和稀土元素的氧化物和适量的助熔剂(如氧化铅加氧化硼或氧化钡加氧化硼)混合,在高温(通常在1000℃以上)下熔融成均匀的液相。当降到某一过饱和温度时,把抛光的单晶基片(一般用钇镓石榴石,简称「GGG」或「三G」)浸入其中,就在基片上生长出一层石榴石单晶薄膜。 |
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